gnehs says to Ow< [MSFW]
据了解,美国桃园厂Fab2十二吋厂这次发生氮气污染,主因是供应工艺所需的氮化纯化厂,未做到纯化氮气,导致水气渗入,再输送到工艺的生产机台,估数逾百台设核心生产DRAM生产线遭到污染,重创美光桃园厂DRAM生产线。